JKZC-DH系列綜合型探針臺

產品/服務：JKZC-DH系列綜合型探針臺
單價：面議
更新日期：2024-09-18
有效期至：長期有效
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產品簡介

JKZC-DH系列綜合型探針臺是一款綜合型晶圓測試探針臺，最大可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺設備配置十分豐富，不僅具備龍門架結構和卡盤的升降功能，還具備業內領先的卡盤快速移動技術，可快速定位樣品位置,提高測試效率。另外針座平臺具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離，同時...

產品詳細介紹

JKZC-DH系列綜合型探針臺

|產品概要

JKZC-DH系列綜合型探針臺是一款綜合型晶圓測試探針臺，最大可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺設備配置十分豐富，不僅具備龍門架結構和卡盤的升降功能，還具備業內領先的卡盤快速移動技術，可快速定位樣品位置,提高測試效率。另外針座平臺具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離，同時也方便探針卡的使用。此設備在大型實驗室或者半導體工廠得到廣泛運用，配合對應的儀器儀表，可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓/LED/LC- D/太陽能電池行業的測試。此系列探針臺可以實現1μm以上的Pad電極測試,也可以實現搭載探針卡的測試。

|JKZC-DH系列綜合型探針臺技術特點

?卡盤可360度快速移動，便于快速定位樣品位置,提高測試效率；

?三段式可升降探針座平臺，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離；

?加厚級剛性金屬框架結構設計,領先的內部防震技術，結構性能穩定。

JKZC-DH系列綜合型探針臺詳細參數

產品型號技術參數		JKZC-DH6	JKZC-DH8	JKZC-DH12
探針臺本體	主體材料	航空鋁	航空鋁	航空鋁
	整機尺寸（mm）	750L550W680H	800L580W680H	930L700W680H
	重?	75kg	95kg	150kg
	卡盤大小	6" ,360度轉動，可微調	8",360度轉動，可微調	12；360度轉動，可微調
	卡盤XY軸行程	6"6",精度 10um	8"*8"，精度 10um	12"*12"₃m 度 10um
	卡盤Z軸行程	快速升降5mm,微調升降行程6mm,精度1微米
	卡盤材質	不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻
	卡盤氣浮移動范圍	360度快速移動，便于快速定位，提高測試效率
	卡盤吸附方式	真空吸附，可選擇環形吸附或者多孔吸附（適用于薄片）
	背電極測試功能	卡盤鍍金，電學獨立懸空，帶2個4mm香蕉頭插口，具備背電極功能
	其它功能	帶標準接地保護，可升級
針座平臺	材質	U型平臺，Q235鍍銀，帶接地端子
	大小	最多可放置6個探針座	最多可放置8個探針座最多可放置12個探針座
	三段式升降平臺	探針平臺可以快速升降，擁有5mm和300um兩檔，探針平臺可以上下微調，行程25mm,升降精度gm。（使用探針卡的時候使用）
顯TH系統	顯微鏡類型	體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統
	倍率范圍	16X~200X/40X~280X/20X~4000X
	顯微鏡行程	具備高剛性龍門架結構,XYZ行程分別為2英寸2英寸2英寸，精度lum
	CCD成像系統	2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能
探針座	種類	絲桿型/微分頭型/經濟型探針座
	X￥Z行程	12.5mm-12.5mm-12.5mm
	機械精度	0.5um/0.7um/2um
夾具	漏電精度	同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA
	接口形式	同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口
其它	選件	屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動
	電力需求	220W50HZ

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JKZC-DH系列綜合型探針臺

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