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近光管出現(xiàn)漏油,換了個光管后,所有曲線都有較大的漂移,尤其是其中的Si,含量在50左右,漂移了8個百分點.初步認定是光管漏油后油跟隨樣盒進入真空室污染了PET晶體,大家有什么看法?

發(fā)布時間:2017-12-08瀏覽次數(shù):1655返回列表

近光管出現(xiàn)漏油,換了個光管后,所有曲線都有較大的漂移,尤其是其中的Si,含量在50左右,漂移了8個百分點.初步認定是光管漏油后油跟隨樣盒進入真空室污染了PET晶體,大家有什么看法?


(1) 如果認為光管漏油污染了晶體的話,可以做一下角度掃描,看峰值是否偏移,晶體被污染角度值應該會偏移的。
如果晶體沒有被污染的話,那么漏進系統(tǒng)的油可能是造成結(jié)果漂移的原因了。油的成份有沒有檢測一下?是不是Si含量很高?上照式的光管漏油是會進入到真空室的。
所以,先確定角度值是否偏移,然后確定一下油的成份,從這兩個方面去查查看,應該可以搞清楚你的問題。