MEMS質量流量計，MF4000系列氣體質量流量計
注： MF4000系列帶數顯款；FS4000系列不帶數顯款
產品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計。
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用。
- 靈敏度高，有小的始動流量。
- 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的計量。
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高。
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的 模擬電壓。
- 零點穩定度高。
- 全量程高穩定性、高度和優良的重復性。
- 低功耗、低壓損。
- 響應速度快。
FS4008-50-R-CV-A氣體流量傳感器(Siargo
產品簡介：
FS400系列氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這系列流量計由廣州漢川儀器儀表有限公司采用的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現對傳感器的靈活配置與參數查詢。
FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，測量范圍zui大到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍zui大到50SLPM；適用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
FS4008-50-R-CV-A氣體流量傳感器(Siargo
機械尺寸:
產品接線方式：
產品選型：
技術參數：
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性能參數 |
FS4003 |
FS4008 |
單位 |
|
通 徑 |
3 |
8 |
mm |
|
zui大流量 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM |
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量程比 |
100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重復性 |
0.75 |
% |
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零點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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|
輸出飄移 |
0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
100 |
ms |
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工作電源 |
8~18Vdc,100mA |
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輸出方式 |
線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
100 |
600 |
pa |
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zui大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結冰、無凝露） |
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機械接口 |
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 |
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校準方式 |
空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
57（帶R1/4,BSPT1/4接口） |
g
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