MEMS質(zhì)量流量計(jì)，MF4000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)
注： MF4000系列帶數(shù)顯款；FS4000系列不帶數(shù)顯款
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設(shè)計(jì)。
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用。
- 靈敏度高，有小的始動流量。
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的計(jì)量。
- 在單個芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高。
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的 模擬電壓。
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高。
- 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復(fù)性。
- 低功耗、低壓損。
- 響應(yīng)速度快。
FS4008-50-R-CV-A氣體流量傳感器(Siargo
產(chǎn)品簡介：
FS400系列氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這系列流量計(jì)由廣州漢川儀器儀表有限公司采用的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，測量范圍zui大到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測量范圍zui大到50SLPM；適用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機(jī)，氣體分析儀等
FS4008-50-R-CV-A氣體流量傳感器(Siargo
機(jī)械尺寸:
產(chǎn)品接線方式：
產(chǎn)品選型：
技術(shù)參數(shù)：
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性能參數(shù) |
FS4003 |
FS4008 |
單位 |
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通 徑 |
3 |
8 |
mm |
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zui大流量 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM |
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量程比 |
100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重復(fù)性 |
0.75 |
% |
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零點(diǎn)輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
0.12 |
%/oC |
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響應(yīng)時間 |
100 |
ms |
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工作電源 |
8~18Vdc,100mA |
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輸出方式 |
線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
100 |
600 |
pa |
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zui大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結(jié)冰、無凝露） |
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機(jī)械接口 |
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 |
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校準(zhǔn)方式 |
空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
57（帶R1/4,BSPT1/4接口） |
g
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