應用范圍： 光電輪廓儀的應用范圍很廣，它主要用于測量各種加工零件表面的微觀三維結構，如表面粗糙度；零件表面的刻線；刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說，如量塊、光學零件表面的粗糙度；標尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結構；鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌；磁（光）盤、磁頭表面結構測量；硅片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。由于儀器測量精度高，重復性好，具有非接觸和三維測量等特點，并采用計算機控制和快速分析、計算測量結果，本儀器適用于各級測試、計量研究單位，工礦企業計量室，加工車間和高等院校及科學研究單位等。

儀器由倒置式改為正置式，更符合人們的操作習慣；
應用CMOS代替CCD，省去圖象卡并提高了質量；
用低壓電源代替高壓電源，節省了儀器成本；
用國產的代替德國進口壓電陶瓷，解決了關鍵部件的進口難題；
增加了自動步距和亮度校正程序，同時增加了局部放大三維立體圖功能；

表面微觀不平深度測量范圍：130?1nm
測量的重復性：sRa≤0.5nm
測量精度：8nm
物鏡倍率：40X
數值孔徑：0.65
儀器視場  目視：f0.25mm
          攝象：0.13X0.13mm
儀器放大倍數  目視：500X 
              攝象（計算機屏幕觀察）：2500X
接收器測量列陣：1000X1000
象素尺寸：5.2X5.2nm