xt26687橢圓偏振測厚儀橢圓偏振測厚儀采用消光法手動調節，自動測量薄膜厚度和折射率，精度高、靈敏度高、方便測量。光源采用氦氖激光器，功率穩定、波長精度高。...

北京百思佳特公司 劉靜
銷售熱線 br /> xt26687橢圓偏振測厚儀儀器介紹
橢圓偏振測厚儀采用消光法手動調節，自動測量薄膜厚度和折射率，精度高、靈敏度高、方便測量。光源采用氦氖激光器，功率穩定、波長精度高。儀器采用USB2.0接口與電腦連接，軟件具有生成表、查表以及計算等功能，方便用戶使用。
xt26687橢圓偏振測厚儀規格參數
測量范圍 薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10
測量厚度zui小示值（nm） ≤1
偏振器方位角范圍 0°- 180°讀取分辨率為0.05°
偏振器步進角 0.014°/步
測量膜厚（nm） ±1
折射率重復性精度 ±0.01
入射角調節范圍 20°～90°精度為0.05°
入射光波長（nm） 632.8
光學中心高（mm） 80
允許樣品尺寸（mm） φ10-φ140，厚度≤15
外形尺寸（mm） 590*390*290
主機重量（kg） 25
xt26687橢圓偏振測厚儀配置表
基本配置 橢圓偏振測厚儀主機 1臺
主機電控箱 1套
二氧化硅膜樣片 1片
橢圓偏振測厚儀專用軟件 1套
需另配 計算機及打印機 1套

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