產品簡介
Aera FC-D980 系列數碼 MFC(質量流量控制器)和 MFM(質量流量計)具有的性能和通用性,從而大幅節約了成本且易于使用。多種輸出選擇
產品說明
Aera FC-D980 系列數碼 MFC(質量流量控制器)和 MFM(質量流量計)具有卓越的性能和通用性,從而大幅節約了成本且易于使用。多種輸出選擇允許進行模擬或數碼控制,可用于目前大多數控制和通信配置。為適應您優先選擇的價值和功能,該產品線擁有單氣體和多氣體、多范圍的 MFC。多氣體、多范圍可以通過顯著減少備件庫存要求降低成本。RS-485 通信(帶有轉換器的 RS-232)與全面的診斷和警報功能相結合,達到了全面的監控和控制性能,操作參數就在您的彈指之間。
性能:
出色的精確性、可重復性和穩定性
大幅節約了成本
zui大限度的運行通用性
無與倫比的可靠性
特點:
多氣體、多范圍選擇
模擬、模擬/數碼以及數碼模式
壓電控制閥
多警報和診斷功能
金屬密封,泄漏率為1x10-10
電解拋光且超潔凈氣體濕潤表面
ALTA®系列金屬密封數字質量流量控制器
- ALTA® 1480A/180A數字質量流量控制器/質量流量監視器,滿量程范圍從10 sccm– 30 slm。
- ALTA® MC20A數字質量流量控制器,滿量程范圍從20 – 300 slm。
- MASS-FLO®系列金屬密封質量流量控制器
- 1479A/179A質量流量控制器/質量流量監視器,其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm,各種模擬和數字通訊口可選。
- M330B低壓質量流量控制器,其滿量程范圍從5–100 sccm
- M330H高溫型(150℃)質量流量控制器,其滿量程范圍從10sccm – 40 slm
MASS-FLOW®系列橡膠密封質量流量控制器
- 1179A/2179A質量流量控制器/帶截至閥質量流量控制器,其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm,模擬和數字通訊口可選。
- M100B/M10MB質量流量控制器/質量流量監視器,其滿量程范圍從10 sccm–50 slm
- 1559A/558A大流量質量流量控制器/質量流量監視器,其滿量程范圍從20– 200 slm
- 1579A/579A大流量質量流量控制器/質量流量監視器,其滿量程范圍從50 – 300 slm
全線代理美國美國MKS的系列產品:
等離子體電源及反應氣體發生器Power & Reactive Gas
真空技術Vacuum Technology
流量測量及控制Flow Measurement & Control
壓力測量及控制Pressure Measurement & Control
氣體分析Gas Analysis
控制信息與技術Control Information & Technology
超小型檢漏儀Leak Detector
校準系統Calibration
電離化與工業靜電控制Ionization & Industrial Static Control
集成子系統Integrated Subsystems
醫用電子系統Medical Electronics
生物醫藥應用Biopharmaceutical
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