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價格：電議
所在地：安徽 合肥市
型號：RTP-1200C-200-SL
更新時間：2021-06-22
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公司地址：安徽省合肥市高新區科學大道110號
謝女士(女士)
結構與原理：
設備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、流量控制系統及工控電腦操作系統。
1、單端封口小型紅外滑軌爐：
該加熱系統采用國際先進制造工藝，造型新穎結構合理，爐體爐管可實現自動分離，爐體上下兩半設計，氣動彈簧支撐結構讓操作者可各角度自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，除能夠保持其能量的最低損耗，還能增強高溫穩定性，可有效減少熱能損耗。
該滑軌爐加熱系統由紅外燈管加熱，采用內插熱電偶控溫的方式實時顯示石英腔體內部溫度，加熱區長度為370mm，恒溫區長度200mm，確保兩個φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區內，為讓樣品在爐管內的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區200mm內的溫場均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過程可在通入一定量保護氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達到2℃/s， 試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內，在完成工藝的同時大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內的溫場均勻性及石英艙體內的潔凈度。
2、電機調速裝置：
伺服電機調速裝置用于控制絲桿的轉動速度，達到控制爐管部分的整體移動速度（含樣件），以此調整快速升降溫的目標速率，電機旋轉速度實時顯示并且精確可控，以獲得精確的移動速度，滿足降溫時工藝參數要求。
3、主要參數
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加熱系統 |
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供電電源 |
220V，50Hz |
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額定功率 |
10KW |
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石英管尺寸 |
Φ210*370mm（爐管直徑可根據實際需要定制。） |
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爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
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加熱原件 |
電阻絲 |
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控溫精度 |
±5℃ |
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熱電偶類型 |
K型熱電偶（內插） |
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控制方式 |
該系統人機界面+PLC控制，10寸液晶屏顯，顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機旋轉速度等信息。 |
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氣路系統 |
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標準量程（N2) |
1000sccm（可根據用戶要求定制） |
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準確度 |
±1.5% |
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線性 |
±0.5～1.5% |
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重復精度 |
±0.2% |
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響應時間 |
氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
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工作壓差范圍 |
0.1～0.5 MPa |
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最大壓力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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工作環境溫度 |
5~45高純氣體 |
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真空系統 |
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機械泵 |
抽氣速率：4L/S 容油量：1.1L 電機功率：400W~ 極限壓強：6×10-2Pa |
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分子泵 |
抽氣速率：100L/S Pa 啟動時間：＜2min 額定轉速：4300轉/分 冷卻方式：環境溫度5-32℃時，風冷；5-40℃時看，水冷。 |
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分子泵控制器 |
電壓：220V±22V 啟動電流：≤7A 輸入頻率：47HZ—63HZ 最大輸出功率：≤150W 最大加速電壓：≤40V 加速時間：≤3min 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ |
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復合真空計 |
測量路數：2路（電阻規、電離規各1路） 工作模式：手動/自動 電阻單元參數 規管型號：ZJ-52T電阻規 測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數 規管型號：ZJ-27電離規 可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 規管除氣方式：焦耳去氣 其他參數 控制路數：4路 控制方式：點動或區域控制/帶掉電記憶 控制精度：±1% 采樣時間：1S 電源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用環境溫度：0℃~45℃ 濕度：≤85% |
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連接管路 |
采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優于1.0×10-9Pa.m3/s |
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